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Hongrijia Depurate Facility Science & Technology Co., Ltd. yuka@szyuka.cn 86-0755-28686438
電子ディスプレイ業界 (LCD/OLEDパネル製造など) では,圧縮気フィルターは,生産の安全性と製品の品質を確保するための主要な防衛線です.
1基本アプリケーションシナリオ
1クリーンルームの空気設備
- ドライブ精密操作機,位置付けプラットフォーム,真空吸入カップ
- リスク:空気中の油/水/粒子は,機器の詰め込みと移動偏差を引き起こす可能性があります
- フィルター機能: ISO 8573-1 クラス 1-0 の空気を供給し,動くパーツを保護する
2板の清掃とエッチング
- 圧縮空気は,ガラス基板の表面上の残留液体を吹くために使用されます
- リスク:0.5μm以上の粒子は傷を起こすことができ,油霧は不均等なコーティングを引き起こす可能性があります.
- フィルター機能: 複数の層のフィルタリング (前フィルタリング + 活性炭吸着)
3レーザー切削/マーク
- 圧縮空気がレーザーヘッドを冷却し,切断残留を吹く
- 危険: 塵 が レーザー レンズ に 粘着 し て 精度 を 低下 さ せる
- フィルター機能: 0.01μmの粒子の 99.999%の傍受
