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半導体産業における圧縮空気のフィルタの使用は極めて重要であり,主に生産環境の清潔性を確保し,温度と湿度を制御し,有害なガスの漏れを防止する設備のガスの需要を満たす.
生産環境の清潔性を確保する
半導体 製造 プロセス は 極めて 複雑 で 複雑 で あり,微小 な 塵 の 粒子 や 汚染 物質 も チップ の ショート サーキット,欠陥,さら に 破棄 を 引き起こす こと が あり ます.
半導体生産工場は高度な清潔な空気環境を維持しなければならないし,空気フィルターはこの目標を達成するための重要な機器です.フォトリトグラフィーなど効率的な空気フィルターは,微小な粒子,細菌,ウイルス,化学汚染物質層次フィルタリングによって 生産ワークショップに 標準を満たす超清潔な空気を供給しますチップ製造プロセスへの不純物の干渉を最小限に抑える.
製造過程中の温度と湿度制御
安定した温度と湿度環境は,半導体材料の性能と製造プロセスの精度に大きな影響を与えます. A good air filtration system can cooperate with the air conditioning system to maintain constant temperature and humidity in the production workshop to ensure the stability and consistency of the semiconductor manufacturing processほら
設備のガス需要を満たす
■清掃・冷却機器:半導体産業では,圧縮空気を半導体機器の清掃・冷却に使用する.圧縮空気中の微小な粒子と湿気が除去されてから表面と内側を掃除するために使用できます.圧縮空気が半導体機器の冷却にも使用され,通常の動作を保証し,使用寿命を延長することができます..
■環境条件の制御: 圧縮空気を製造環境に導入することで,温度と湿度を調整して恒常的な作業条件を維持できます.さらに圧縮空気は,製造環境を清潔に保つために空気流を形成することで,塵や不純物を遮断することもできます.
■電気源: 半導体生産では,大量の圧縮空気が必要で,ロボットアーム,コンベアベルト,冷蔵庫,電気機器さらに,圧縮空気は,化学物質,半導体材料など輸送にも使用できます.製造過程で,生産効率を向上させるため,気圧輸送技術によって,事前に決定された場所に.